Particle Counter

เราใช้เครื่องนับปริมาณอนุภาคหรือเครื่องนับฝุ่นในการตรวจสอบคุณภาพของอากาศ โดยการนับจำนวนและขนาดของอนุภาคที่มีในอากาศ ข้อมูลนี้จะมีประโยชน์ในการตัดสินคุณภาพของอากาศ สถานทีนั้นๆ ว่าอากาศคุณภาพเป็นเช่นไร สะอาดไหม โดยทั่วไปเรามักจะควบคุมความสะอาดของกากาศนี้ในห้อง คลีนรูม ซึ่งมักใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ไบโอเทคโนโลยี เภสัชกรรม ดิสก์ไดร์ฟ อากาศยาน เป็นต้น ที่ให้ความสำคัญกับการปนเปื้อนในอากาศเป็นอย่างสูง ซึ่งคลีนรูมก็จะมีมาตรฐานกำหนดขึ้น เช่นตามมาตรฐาน U.S. FED STD 209E clean room standards

Particles/ft3
Class	0.1 μm	0.2 μm	0.3 μm	0.5 μm	1.0 μm	5.0 μm
1	35	7	3	1
10	350	75	30	10	2
100	3500	750	300	100	22	3
1,000				1,000	218	7
10,000				10,000	2,180	70
100,000				100,000	21,800	700

หรือ ISO 14644-1 clean room standards

	Particles/m3
Class	0.1 μm	0.2 μm	0.3 μm	0.5 μm	1.0 μm	5.0 μm
ISO 1	10	2
ISO 2	100	24	10	4
ISO 3	1,000	237	102	35	8
ISO 4	10,000	2,370	1,020	352	83
ISO 5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29
ISO 6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
ISO 7				352,000	83,200	2,930
ISO 8				3,520,000	832,000	29,300
ISO 9				35,200,000	8,320,000	293,000

ซึ่งสามารถนำมาเปรียบเทียบกันตามตารางด้านล่าง

ISO 14644-1	FED STD 209E
ISO 3	1
ISO 4	10
ISO 5	100
ISO 6	1,000
ISO 7	10,000

เราใช้เครื่อง Particle Counter ในการตรวจนับขนาดและปริมาณอนุภาค เพื่อตรวจสอบว่าคลีนรูมได้ตามมาตรฐานที่กำหนดหรือไม่

รายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับ Particle Counter ที่นี่ค่ะ

ที่มา : https://en.wikipedia.org/wiki/Particle_counter