Particle Counter

Particle Counter
Particle Counter

เราใช้เครื่องนับปริมาณอนุภาคหรือเครื่องนับฝุ่นในการตรวจสอบคุณภาพของอากาศ โดยการนับจำนวนและขนาดของอนุภาคที่มีในอากาศ ข้อมูลนี้จะมีประโยชน์ในการตัดสินคุณภาพของอากาศ สถานทีนั้นๆ ว่าอากาศคุณภาพเป็นเช่นไร สะอาดไหม โดยทั่วไปเรามักจะควบคุมความสะอาดของกากาศนี้ในห้อง คลีนรูม ซึ่งมักใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ไบโอเทคโนโลยี เภสัชกรรม ดิสก์ไดร์ฟ อากาศยาน เป็นต้น ที่ให้ความสำคัญกับการปนเปื้อนในอากาศเป็นอย่างสูง ซึ่งคลีนรูมก็จะมีมาตรฐานกำหนดขึ้น เช่นตามมาตรฐาน U.S. FED STD 209E clean room standards

Particles/ft3
Class 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1.0 μm 5.0 μm
1 35 7 3 1
10 350 75 30 10 2
100 3500 750 300 100 22 3
1,000 1,000 218 7
10,000 10,000 2,180 70
100,000 100,000 21,800 700

หรือ ISO 14644-1 clean room standards

Particles/m3
Class 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1.0 μm 5.0 μm
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1,000 237 102 35 8
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO 7 352,000 83,200 2,930
ISO 8 3,520,000 832,000 29,300
ISO 9 35,200,000 8,320,000 293,000

ซึ่งสามารถนำมาเปรียบเทียบกันตามตารางด้านล่าง

ISO 14644-1 FED STD 209E
ISO 3 1
ISO 4 10
ISO 5 100
ISO 6 1,000
ISO 7 10,000

เราใช้เครื่อง Particle Counter ในการตรวจนับขนาดและปริมาณอนุภาค เพื่อตรวจสอบว่าคลีนรูมได้ตามมาตรฐานที่กำหนดหรือไม่

รายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับ Particle Counter ที่นี่ค่ะ

ที่มา : https://en.wikipedia.org/wiki/Particle_counter

Leave a reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *